SIGMAKOKI 西格玛 OptoSigma TADC-602WSPA XY轴压电辅助台移动平行度20微米

2024-09-05 14:10:13 admin

断开压电辅助专用控制器（PASC）的电源后，压电辅助的位置调整发生变化，产生微动调整部分的位置偏移。
Orthogonality 10微米
表面积 60×60毫米
微动最小分解能 Below 20nm
千分尺最小读取 0.01毫米
微操作位置侧面
力矩刚性/俯仰 0.6英寸/牛顿[UNK]cm
力矩刚性/滚动 0.6英寸/牛顿[UNK]cm
移动导轨滚珠导轨
移动精度/真直度 3微米
移动平行度 20微米
移动量/1回转 0.5毫米
容许力矩载荷/俯仰 4.9牛・米