日本 ULVAC 爱发科 HR60 真空泵 HR90
2025-08-20 18:03:22
admin
日本 ULVAC 爱发科 HR60 真空泵 HR90
功能
均匀高温分布泵
“”型号:HR”泵专为需要加热泵、加热气体管道和/或加热排气管道的应用设计，以保持均匀的高温
“”型号:UR”泵能够保持比“型号:HR”更高的温度。卓越的氦气抽气能力
canned motor 提供安全和易于维护断电保护
泵能够承受持续时间为1000毫秒的断电。对腐蚀性气体的优越耐性：
内部组件经过特殊处理，提供高度的表面硬度和耐腐蚀性。这防止了在暴露于腐蚀性气体时内部泵部件的磨损和腐蚀。通信功能：
能够导出泵数据，包括警告和报警。广泛的泵控制功能。
应用程序
CVD 设备
蚀刻设备
燃烧设备
ALD、ALH 等等
