日本 ULVAC 爱发科 MS120A 真空泵 MS600A
2025-08-21 10:13:27
admin
日本 ULVAC 爱发科 MS120A 真空泵 MS600A
功能
对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理以提高耐腐蚀性
通过应用ULVAC独特的设计转子轴，粉末排气表现出高性能。
实现近常压连续抽气
应用程序
半导体和电子设备制造设备的真空系统
刻蚀、清洗、等离子体清洁等炉用真空系统
烧结、渗碳等锂离子电池制造设备的真空系统
电极干燥、脱气、真空注入等医疗和食品的真空系统
冷冻干燥、真空干燥等
