日本 ULVAC 爱发科 LS300A 真空泵 LS600A
2025-08-21 10:16:19
admin
日本 ULVAC 爱发科 LS300A 真空泵 LS600A
高抽气速度和低能耗的干式真空泵。
型号：LS可根据应用选择4种不同
功能
'高抽气速度
在接近大气压下具有高抽气速度，抽气时间可以大幅缩短低功耗
ECO-SHOCK技术实现低功耗。(C型)
在极限压力下的功耗是行业领先的0.6千瓦或更低。(LS120A-C)内置消音器使噪音水平达到61分贝（A）或更低。
运行成本低
无轴封气体。
*L型可提供吹扫气体。泵送速度120~1200立方米/小时 类型 *带机械增压泵
型号可根据应用选择最佳型号
的抽气速度（120-1200m3/h）。
应用程序
C 型 : 清洗工艺 (LS***A-C)
特点 : 低功耗型号 (带内置ECO-SHOCK)
应用 : 用于清洗工艺例如空气和N2 G14溅射/蒸镀/
层压/加载锁室/TMP背压泵等。
L 型 : 轻型流程 (LS***A-L)
特点 : 轻型流程型号 (带表面处理和吹扫功能)
应用 : 用于蒸汽和挥发性液体药品/真空干燥/
冷冻干燥/灰化/一般工业用途等。
