日本 ULVAC 爱发科 LR180 真空泵 LR421
2025-08-21 10:28:52
admin
日本 ULVAC 爱发科 LR180 真空泵 LR421
功能
'低温泵（型号：LR）
'该“型号：LR”泵旨在缩短负载锁、PVD过程等的抽气时间。卓越的氦气抽气能力
canned motor 保证安全和维护方便断电保护
泵在断电持续时间长达500毫秒的情况下能够承受。耐腐蚀气体的优越抗性（型号：HR/UR）
内部组件经过特殊处理，提供高度的表面硬度和耐腐蚀性。这防止了在暴露于腐蚀性气体时内部泵部件的磨损和腐蚀。通信功能
泵数据包括警告和警报能够导出。广泛的泵控制功能可用。
应用程序
溅射设备、蒸镀设备等。
缩短负载锁室的抽气时间
涡轮分子泵和机械增压泵的备用泵
