日本 NTK CERATEC ESC ／加热器 材质：AIN（氮化铝） 静电卡盘
2026-05-23 15:56:50
admin
日本 NTK CERATEC ESC ／加热器 材质：AIN（氮化铝） 静电卡盘
通过将金属电极置于陶瓷内部并作为一个整体烧结，可以制造静电夹头和陶瓷加热器。
我们提供一系列采用多种材料技术以满足用户需求的静电夹头和陶瓷加热器。 我们提供针对不同应用（如等离子体环境和电子束应用）从开发到原型阶段量身定制的产品。
装有加热器的静电卡盘（ESC／加热器）
【材质：AIN（氮化铝）】
通过控制AIN的体积电阻率，可以获得大范围的温度域和充分的吸附力。
通过自由度高的加热器设计可以实现良好的温度均匀性。
因使AIN和电极完成一体化熔结，没有出现因电极的劣化造成的历时变化。
可以应对采用接合技术的陶瓷中空结构。
