日本 NGK 株式会社 AlN氮化铝 HA-51 静电卡盘

2026-05-23 17:00:47 admin

它展现卡盘出卓越的强度、热导率和耐热冲击能力。我们专有的体积电阻控制技术实现了广泛的温度范围兼容性。

宽温范围（-50至700°C）

它具有高强度、高热导率和卓越的抗热冲击能力。通过采用陶瓷作为介电基板，我们提供了独特的体积电阻率控制，以适应低温、中温和高温的广泛应用。

耐腐蚀性

它对卤素气体如氟基气体具有优异的耐腐蚀性。

晶圆背低颗粒处理

通过表面处理和特殊清洁实现低颗粒。

高纯度

我们能处理99.9%或更高的纯度。

特色

NGK的静电夹头除了晶圆吸附功能外，还能增加多种功能。

供暖

得益于高精度加热元件嵌入技术，可与陶瓷加热器集成，晶圆表面温度可达±1%以下。

冷却

通过结合并连接具有高导热率和冷却板的陶瓷板，实现了极高的冷却性能。

兼容射频电流的散装电极

体积电极同时实现简单稳定的晶圆吸附和射频等离子体生成。