日本 NTK CERATEC ESC 陶瓷加热器 材质 AIN（氮化铝）静电卡盘
2026-05-23 16:29:50
admin
日本 NTK CERATEC ESC 陶瓷加热器 材质 AIN（氮化铝）静电卡盘
在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结 ，可以制作静电卡盘（Electrostatic Chucks）和陶瓷加热器。
运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。
由于使用了高热传导性的AIN，实现了良好的的温度均匀性（±0.3%）。
拥有IR相机和TC晶圆等的特性检查环境。
