日本 TOTO 东陶 ESC 材质 Al2 O3 静电卡盘
2026-05-23 16:29:52
admin
日本 TOTO 东陶 ESC 材质 Al2 O3 静电卡盘
TOTO的静电卡盘 （ESC）通过卓越的耐用性和低背后颗粒污染，为先进的半导体制造工艺做出贡献，这得益于我们经过验证的设计与分析能力、高精度制造技术以及从原材料到成品始终如一的集成管理系统。
材料
TOTO的高等离子体抗性铝2氧化铝材料实现了高耐久性。
低背面颗粒污染
TOTO可以推荐任何类型的首选材料。
设计提案
分析能力（结构分析、热导率分析和热应力分析）
大规模生产能力
TOTO可以实现交钥匙式ESC（陶瓷、加热器、冷却套管）。
TOTO可满足450毫米电子对抗电容器的需求。
得益于东托的材料、设计和量产能力，TOTO的ESC能够根据客户需求控制晶圆温度。
